痕量級雜質氣體比如烴類、H2O、CO、CO2、NOx、N2O、H2S等會對高純氦、高純氫、高純氮、其他高純氣體、標準氣體以及烯烴類氣體的生產帶來危害，損壞設備和影響生產質量，甚至對使用這些氣體的設備帶來致命威脅。便攜式痕量空氣監測系統專門專業監測并分析ppm微量級、ppb超微量級雜質氣體。

原理：

便攜式痕量空氣監測系統基于紅外光聲光譜技術，擁有脈沖紅外光源，通過窄帶光學濾波片，形成中紅外區10個光譜波段，用于氣體分析；超高靈敏度基于擁有差分懸臂梁光學麥克風技術，可通過10種光學窄帶濾波片實現，極窄的光學濾波可去除背景氣體的干擾；多個光譜區域可有利于的交叉靈敏度。

光聲光譜技術可實現短光路光程的高靈敏度測量，更進一步提高了非線性補償技術，可實現寬量程可達5級的線性動態量程比。

氣體：

烴類：CH4、C2H6、C2H2、C2H4、C3H6等

無機氣體：CO2、CO、N2O、SO2、NO、NO2,NH3、NF3、SF6、H2O等

揮發性有機物VOCs：丙酮、乙醇、甲醇、苯、甲苯、二甲苯、甲醛等

氟利昂（CFCs）及全氟化碳（PFCs）:CF4、C2F6、R-134a、R13等

腐蝕性氣體：HF、HC、HCN等

其他氣體：N2、H2、O2、氯氣等（可選、擴展探頭）；

被測氣體可定制；

特點：

同時測量高達 9 種氣體

ppb 、sub-ppm 級的檢測限

即采即測、實時分析、秒級響應時間

長的標定周期、低的樣氣量

高分辨率圖形顯示界面,友好人機交互界面

豐富的可編程測量任務

圖形和表格顯示全部氣體的測量結果

內置趨勢查看監控任務,

不需要外部的電腦

無耗材、免維護

4~20mA 模擬量、RS232 、RS485 通訊

堅固耐用的外殼設計

優點：

帶有增強懸臂梁光學麥克風的紅外光聲光譜技術

電子脈沖紅外光源

鍍金采樣氣室恒定溫度 50℃

超靈敏的基于 MEMS 差分懸臂梁傳感器光學麥克風，耦合激光干涉測量懸 臂梁微觀移動

內置帶有 5.7"前置顯示器的嵌入式計算機 可設置氣體報警閾值

數據存儲約 2GB，連續存儲 9 種氣體可達 1 年

測量結果可以通過 U 盤，USB 口，Ethernet 網口，串口導出

后面板有四路氣體連接口，兩路為采樣接口， 配有粉塵顆粒物過濾器

自動補償溫度、壓力等變化工況的干擾

自動去除包括水汽、顆粒物等采樣氣體的干擾

標準：

低壓測量指令 2006/95/EC  和電磁兼容 EMC  指令 2004/108/EC  EN  50270:  2006,  EN 61000-3-2: 2006, EN 61000-3-3: 1995 + A1: 2001 + A2: 2005, EN 61010-1: 2001

安全標準：EN61010-1 (2001), IEC 61010-1 (2001), CAN/CSA-C22.2 No. 61010-1 (2004)和 UL 61010-1 (2004 incl. rev. 2005)。